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等离子体清洗机的分类有哪些

  上海轩仪仪器设备有限公司经销各种等离子体清洗机,等离子体清洗机又叫等离子表面清洗机、等离子表面处理机、低温等离子处理设备、常压等离子处理机等。等离子清洗机能够对物体表面进行彻底的清洗和活化作用,从而起到想要的作用。等离子体清洗机目前被广泛的应用于包装、印刷、喷码、电子、国防等行业。今天让我们来看看等离子体清洗机的分类有哪些?
  等离子体清洗机的分类可以按照激发频率和反应类型来分类。
1、 按照激发频率分类
  常用的等离子体激发频率有三种:
  1)超声等离子体:激发频率为40kHz的等离子体
  2)射频等离子体:13.56MHz的等离子体
  3)微波等离子体:2.45GHz的等离子体
  不同等离子体产生的自偏压不一样。超声等离子体的自偏压为1000V左右,射频等离子体的自偏压为250V左右,微波等离子体的自偏压很低,只有几十,而且三种等离子体的机制不同。超声等离子体发生的反应为物理反应,射频等离子体发生的反应既有物理反应又有化学反应,微波等离子体发生的反应为化学反应。超声等离子体清洗对被清洁表面产生的影响最大,因而实际半导体生产应用中大多采用射频等离子体清洗和微波等离子体清洗。
  注:
  等离子态的密度和激发频率有如下关系: 
  nc=1.2425×108v2 
其中nc为等离子态密度(cm-3),v为激发频率(Hz)。 
2、按照反应类型分类 
  等离子体与固体表面发生反应可以分为物理反应(离子轰击)和化学反应。物理反应机制是活性粒子轰击待清洗表面,使污染物脱离表面最终被真空泵吸走;化学反应机制是各种活性的粒子和污染物反应生成易挥发性的物质,再由真空泵吸走挥发性的物质。 
  以物理反应为主的等离子体清洗,也叫做溅射腐蚀(SPE)或离子铣(IM),其优点在于本身不发生化学反应,清洁表面不会留下任何的氧化物,可以保持被清洗物的化学纯净性,腐蚀作用各向异性;缺点就是对表面产生了很大的损害,会产生很大的热效应,对被清洗表面的各种不同物质选择性差,腐蚀速度较低。以化学反应为主的等离子体清洗的优点是清洗速度较高、选择性好、对清除有机污染物比较有效,缺点是会在表面产生氧化物。
  和物理反应相比较,化学反应的缺点不易克服。并且两种反应机制对表面微观形貌造成的影响有显著不同,物理反应能够使表面在分子级范围内变得更加“粗糙”,从而改变表面的粘接特性。还有一种等离子体清洗是表面反应机制中物理反应和化学反应都起重要作用,即反应离子腐蚀或反应离子束腐蚀,两种清洗可以互相促进,离子轰击使被清洗表面产生损伤削弱其化学键或者形成原子态,容易吸收反应剂,离子碰撞使被清洗物加热,使之更容易产生反应;其效果是既有较好的选择性、清洗率、均匀性,又有较好的方向性。 
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