有两种碱性方法可以使表面带上特定的化学基团。一种方法是通过PEC V D沉积含有所需官能团的涂层,另一种方法是使现有的官能团产生等离子体并使之能够结合在表面上。虽然后面的方法更加简单,但前者具有更高的表面官能团浓度(10%-20%)。使用氨气作为原料气可以在表面上结合-NH3。甲醇用来结合羟基,同时使用甲醇和CO2可以提供羧基。不幸的是,沉积这些官能团同时会发生一些副反应,从而改变主官能团。例如,氨气等离子体在沉积伯氨基的同时也会沉积季氨、叔胺、腈、亚胺等。这些基团的比例根据等离子体系统和使用的参数变化而变化。尽管如此,这种方法也可提供2-8%的所需官能团。
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