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技术资料

低温等离子体介绍1

 

等离子体的分类

1、按等离子体焰温度分:
1)高温等离子体:温度相当于108~109 K完全电离的等离子体,如太阳、受控热核聚变等离子体。
2)低温等离子体:
热等离子体:稠密高压(1大气压以上),温度103~105K,如电弧、高频和燃烧等离子体。
冷等离子体:电子温度高(103~104K)、气体温度低,如稀薄低压辉光放电等离子体、电晕放电等离子体、DBD介质阻挡放电等离子体、索梯放电等离子体等。
2
、按等离子体所处的状态:
1)平衡等离子体:气体压力较高,电子温度与气体温度大致相等的等离子体。如常压下的电弧放电等离子体和高频感应等离子体。
2)非平衡等离子体:低气压下或常压下,电子温度远远大于气体温度的等离子体。如低气压下DC辉光放电和高频感应辉光放电,大气压下DBD介质阻挡放电等产生的冷等离子体。

 

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