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技术资料

400K的和13.56Mhz的等离子清洗机机有什么不同, 各用在什么行业

常用的等离子体激发频率有三种:激发频率为 40kHz的等离子体为超声等离子体,13.56MHz的等离子体为射频等离子体,2.45GHz的等离子体为微波等离子体。
不同等离子体产生的自偏压不一样,超声等离子体的自偏压为1000V左右,射频等离子体的自偏压为250V左右,微波等离子体的自偏压很低,只有几十伏,三种等离子体的机制不同。超声等离子体发生的反应为物理反应,射频等离子体发生的反应既有物理反应又有化学反应,微波等离子体发生的反应为化学反应。但因为40KHz为较早的技术,其射频匹配后能量消耗过大,实际作用到清洗物上的能量不足原有能量的1/3。所以实际应用中大多采用13.56MHz射频等离子体清洗,这个频率也是现在国际上最流行的,价格也是最高的。

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