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技术资料

等离子清洗设备不起辉

设备不起辉主要有两个方面:一是真空度不够,仪器正常工作时真空度一般在70-100Pa之间。二是主机设备出现故障,你可以找一个短一点的日光灯管代替反应舱。将其放入舱体内。开主机电源、开功率旋钮,观察灯管是否有产生辉光。(此时反应舱体应该为常压,即不抽真空)如果灯管没有产生辉光,即仪器有问题,检查射频电源等相关电子部分(最好请厂家帮助检查)。如果灯管产生辉光即真空部分有问题,检查真空系统(如真空管接口是否松动,真空管是否老化漏气等等)。

 

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