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技术资料

等离子体表面处理在光伏行业的应用

 

金属氧化物的祛除

化学清洗:表面反应以化学反应为主的等离子体清洗,又称PE

例:O2e-→ 2O +e     O※+有机物→CO2+H2O

从反应式可见,氧等离子体通过化学反应可使非挥发性有机物变成易挥发的H2OCO2

例:H2+e-2H+e-      H+非挥发性金属氧化物→金属+H2O

从反应式可见,氢等离子体通过化学反应可以去除金属表面氧化层,清洁金属表面。

物理清洗:表面反应以物理反应为主的等离子体清洗,也叫溅射腐蚀(SPE)。

例:Are-Ar++2e-       Ar++沾污→挥发性沾污

Ar+在自偏压或外加偏压作用下被加速产生动能,然后轰击被清洗工件表面,一般用于去除氧化物、环氧树脂溢出或是微颗粒污染物,同时进行表面能活化。

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