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技术资料

等离子清洗机的清洗作用效果

 

等离子清洗机的清洗作用效果:

等离子体是气体分子在真空、放电等特殊场合下产生的独特现象和物质。

典型等离子是由电子、离子、自由基和质子组成。就像把固体转变成气体需要能量一样, 产生离子体也需要能量。

等离子体能够导电,与电磁力起反应。

小型等离子清洗刻蚀机中产生等离子体的装置,是在密封容器中设置两个电极形成电场的,然后实现一定的真空度,随着气体愈来愈稀薄,分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长,在电场作用下,发生碰撞而形成等离子体,产生辉光放电。

辉光放电时的气压大小、放电功率、气体成分及流动速度和材料类型等对材料刻蚀效果有很大影响。

由于等离子体产生的辉光放电是真空紫外光,其对蚀刻率有十分积极的影响,气体中包含中性粒子、离子和电子。

中性粒子和离子温度102K-103K,电子能量对应的温度高达105K,被称为“非平衡等离子体”或“冷等离子体”,表现为电中性(准中性);气体所产生的自由基和离子活性很高,其能量几乎足以破坏所有的化学键,在任何暴露的表面引起化学反应。

等离子体中粒子的能量一般为几个至几十电子伏特,大于聚合物材料的结合键能(几个至十几电子伏特),完全可以破裂有机大分子的化学键而形成新键,但远低于高能放射性射线,只涉及材料表面,不影响基体的性能。

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