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技术资料

上海轩仪:浅谈等离子清洗机的清洗原理

 

等离子清洗原理;

给气态物质更多的能量,比如加热,将会形成等离子体。当到达等离子状态时,气态分子裂变成了许许多多的高度活跃的粒子。这些裂变不是永久的,一旦用于形成等离子体的能量消失,各类粒子重新结合,形成原来的气体分子。

与湿法清洗不同,等离子清洗的机理是依靠处于“等离子态”的物质的“活化作用”达到去除物体表面污渍的目的。

从目前各类清洗方法来看,等离子体清洗也是所有清洗方法中最为彻底的剥离式的清洗方式。等离子清洗一般是利用激光、微波、电晕放电、热电离、弧光放电等多种方式将气体激发成等离子状态。

在等离子清洗应用中,主要是利用低压气体辉光等离子体。一些非聚合性无机气体(Ar2N2H2O2等)在高频低压下被激发,产生含有离子、激发态分子,自由基等多种活性粒子。

一般在等离子清洗中,可把活化气体分为两类,一类为惰性气体的等离子体(如Ar2N2等);另一类为反应性气体的等离子体(如O2H2等)。

这些活性粒子能与表面材料发生反应,其反应过程如下:电离——气体分子——激发——激发态分子——清洗——活化表面等离子产生的原理如下从上图可以看出,给一组电极施以射频电压(频率约为几十兆赫兹),电极之间形成高频交变电场,区域内气体在交变电场的激荡下,产生等离子体。

活性等离子对被清洗物进行表面物理轰击与化学反应双重作用,使被清洗物表面物质变成粒子和气态物质,经过抽真空排出,而达到清洗目的。

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