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技术资料

浅谈高频感应等离子体发生器

 

【真空等离子清洗机】高频感应等离子体发生器又称高频等离子体炬,或称射频等离子体炬。它利用无电极的感应耦合,把高频电源的能量输入到连续的气流中进行高频放电。高频等离子体发生器及其应用工艺有以下新特点:

 

  ①只有线圈,没有电极,故无电极损耗问题。

 

  发生器能产生极纯净的等离子体,连续使用寿命取决于高频电源的电真空器件寿命,一般较长,约为20003000小时。在等离子体高温下,由于参加反应的物质不存在被电极材料污染的问题,故可用来炼制高纯度难熔材料,如熔制蓝宝石、无水石英,拉制单晶、光导纤维、炼制铌、钽、海绵钛等。

 

  ②高频等离子体流速较低(约0103米/秒),弧柱直径较大。

 

  近年来,已广泛应用于实验室,便于作大量等离子体过程试验。工业上制备金属氧化物、氮化物、碳化物或冶炼金属时,反应物在高温区停留时间长,使气相反应很充分。根据电源与等离子体耦合的方式不同,高频等离子体炬可分为:电感耦合型、电容耦合型、微波耦合型和火焰型。真空等离子表面处理机】

 

  高频等离子体炬由三部分组成:高频电源、放电室、等离子体工作气供给系统。后者除了供轴向工作气外,还像电弧等离子体炬气稳弧一样,切向供入旋转气流以冷却并保护放电室壁(通常用石英或耐热性较差的材料)【等离子喷枪】

 

  高频等离子体炬在工业中已有多方面的应用,特别是在等离子体化工、冶金和光学材料提纯等方面。它还可制备超导材料,如用氢高频等离子体还原钒-硅(或钒-锗),铌-铝(或铌-锗)的氯化物蒸气以制备超导材料。

 

  中国冶金、采矿企业中需处理的钛矿石、含钒矿渣、磷矿石以及工业难熔废料含稀有材料的矿渣很多,采用高频等离子体炬是颇有前途的冶炼手段,可从中炼出有用的金属和稀有元素。

 

高频等离子体发生器的功率输出范围为0.51兆瓦,效率为50%~75%,放电室中心温度一般约高达700010000开。【等离子表面清洗】 

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