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技术资料

常压等离子技术在电子行业上的应用有哪些

常压等离子技术在电子行业上的应用有:
●半导体集成电路及其它微电子设备的制造
●工具、模具及工程金属的硬化
●药品的生物相溶性包装材料的制备
●表面防蚀及其它薄层的沉积
●特殊陶瓷(包括超导材料)
●新的化学物质及材料的制造
●金属的提炼
●聚合物薄膜的印刷和制备
●有害废物的处理
●焊接
●磁记录材料和光学波导材料
●精细加工
●照明及显示
●电子电路及等离子体二极管开关
●等离子体化工(氢等离子体裂解煤制乙炔、等离子体煤气化、等离子体裂解重烃、等离子体制炭黑、等离子体制电石等)
等离子体是指处于电离状态的气态物质,其中带负电荷的粒子(电子、负离子)数等于带正电荷的粒子(正离子)数。通常与物质固态、液态和气态并列,称为物质第四态。通过气体放电或加热的办法,从外界获得足够能量,使气体分子或原子中轨道所束缚的电子变为自由电子,便可形成等离子体。
等离子体在化学工业中的真正应用是在20世纪50年代以后。联邦德国赫斯和赫司特化工厂于50年代成功地从甲烷和其他烃类在氢等离子体中热解制取乙炔。此后,美国、苏联和日本都相应地建造了等离子体制乙炔的实验工厂。此法流程简单,对原料适应性强,但电耗偏高,限制了它的大规模推广。60年代,美国离子弧公司以锆英砂为原料在直流电弧等离子体中一步裂解制备氧化锆。70年代末,中国以硼砂和尿素为原料,在直流电弧等离子体中制备高纯六方氮化硼粉,该法具有产品纯度高、成本低、工艺流程简单等优点。此外,还可利用等离子技术生产二氧化钛。

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