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等离子清洗机中的电极制作原则

射频电源的功率选择原则？15CM的电极距离，要配多大功率的电源
电源功率大小选择和你的工艺有关，气压大小，处理物件大小，处理时间等等，你那个15cm也不准确，因为你的极板应该是对应腔体的，还和你用多少层电极有关

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