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技术资料

等离子清洗机中的电极制作原则

射频电源的功率选择原则?15CM的电极距离,要配多大功率的电源
电源功率大小选择和你的工艺有关,气压大小,处理物件大小,处理时间等等,你那个15cm也不准确,因为你的极板应该是对应腔体的,还和你用多少层电极有关

 

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