等离子体表面处理在光学仪器的应用

   光学镜片的镀膜技术是整个光学系统的一个重要组成部分，良好的镀膜技术能改善镜片的折射率、阿贝数、散射、衍射和化学性能。光学薄膜真空镀膜技术一般采用物理气相沉积（PVD）技术，包括热蒸发、溅射、离子镀等方法。而在镀膜前的光学镜片一般须经过离心力清洗机和超声波清洗机清洗，但若想要得到超洁净的基体表面，则需进一步的采用等离子体清洗，不仅能去除表面经离心力清洗和超声波清洗后的有机残留物，还能对于后道镀膜技术起到积极作用。

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