等离子体表面处理在新能源行业的应用

玻璃基板：

使用等离子体技术，对材料表面进行轰击，可有效去除表面污染物，使工件表面亲水性大大提高。清洗后的水滴夹角小于5度，为下道工序的进行奠定良好基础。

阳极表面改性：

用等离子体技对ITO阳极进行表面改性，可有效优化其表面化学组成，大大降低方块电阻，从而有效提高能量转换效率，改善器件的光伏性能。

涂保护膜前处理：

硅片表面**光亮，会反射掉大量的太阳光。因此，在其上沉积一层反射系数**小的氮化硅保护膜是**必要的。通过采用等离子体技术，可活化硅片表面，大大提高其表面附着力。

电池行业

● 极耳、极片、电极柱的焊接改善，提升品质，降低内阻；

● 外壳涂装前处理，提高附着力；

●电池正负极材料分切后处理，清除表面颗粒物，提高电芯品质；

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