等离子清洗机工作原理

等离子清洗机原理是在真空状态下使电极之间形成高频交变电场，区域内气体在交变电场的激荡下，形成等离子体，活性等离子对被清洗物进行物理轰击与化学反应双重作用，使被轰击与化学反应双重作用，使被清洗物表面物质变成粒子，和气态物质，经过抽真空排出，而达到清洗目的。

等离子体清洗机作为一种精密干法清洗设备，应用于半导体、厚膜电路、元器件封装前、COG前工序、LED后工序、真空电子、连接器和继电器等行业的精密清洗、塑料、橡胶、金属和陶瓷等表面的活化以及生命科学实验等。

特点：

1． 所有关键部件全部采用进口，确保设备运行寿命和产品质量。

2． PLC或工控机控制，工艺参数、运行时间、工艺过程实时监视并显示运行状态包括自动模式和手动模式。

3． 清洗时间、基础压力、功率、流量设定可调。

4． 工作气体压力低、压缩空气压力低、泵热过载、反应仓泄露、反射功率过大报警。

5． 可根据客户工艺定制（在线式）等离子体清洗机。

1. 什么是等离子体

等离子体是物质的一种存在状态,通常物质以固态、液态、气态3种状态存在,但在一些特殊情况下可以以第四种状态存在,如太阳表面的物质和地球大气电离层中的物质。这类物质所处在的状态称为等离子体状态，又称为物质的第四态。等离子体中存在下列物质。处于高速运动状态的电子；处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基)；离子化的原子、分子；分子解离反应过程中生成的紫外线；未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持中性状态。

2. 如何用人工方法制得等离子体

通过多种形式，如电弧放电、辉光放电、激光、火焰或者冲击波等，都可以使处于低气压状态下的气体物质转变成等离子体状态。如在高频电场中处于低气压状态的氧气、氮气、甲烷、水蒸气等气体分子在辉光放电的情况下,可以分解出加速运动的原子和分子，这样产生的粒子被解离成电子和有正负电荷的原子和分子。这样产生的带电粒子和电子在电场中加速时会获得高能量，并与周围的分子或原子发生碰撞，结果使分子和原子中又激发出电子，而本身又处于激发状态和离子状态，这时物质存在的状态即为等离子体状态。

3．等离子体的种类

（1）从温度上区分，可分为高温等离子体和低温等离子体两类。

（2）从气体活泼程度区分，根据产生等离子体时应用的气体的化学性质不同，可分为活泼气体等离子体和惰性气体等离子体两类。

4．等离子体与物体表面的作用

在等离子体中除了气体分子、离子和电子外，还有存在受到能量激励状态电中性的原子或原子团(又称自由基)，以及等离子体发射出的光线，其中波的长短、能量的高低,在等离子体与物体表面相互作用时有着重要的作用。

（1）原子团等自由基与物体表面的反应

（2）电子与物体表面的作用

（3）离子与物体表面的作用

（4）紫外线与物体表面的反应

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