简要谈谈低气压等离子体发生器

低气压等离子体发生器是一种低气压气体放电装置，一般由三部分组成：产生等离子体的电源、放电室、抽真空系统和工作气（或反应气）供给系统。【等离子表面刻蚀】

  通常有四类：静态放电装置、高压电晕放电装置、高频（射频）放电装置（有3种类型）和微波放电装置。把被处理的固体表面或需要聚合膜层的基体表面置于放电环境中，由等离子体处理。由于低气压等离子体为冷等离子体，当气压为 133～13.3帕左右时，电子温度高达10000开，而气体温度只有300开，既不致烧坏基体，又有足够能量进行表面处理。低气压等离子体发生器已日益广泛应用于等离子体聚合、制备薄膜、刻蚀、清洗等表面处理工艺中。【等离子喷枪】

  成功的例子如：在半导体制作工艺中，采用氟里昂等离子体干腐蚀，用离子镀法在金属表面生成氮化钛膜等。

70年代以来，低气压等离子体对非金属固体（如玻璃、纺织品、塑料等）的表面处理及改性技术也有迅速发展。【等离子处理机】

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