等离子体表面工艺的应用

等离子体表面工艺主要用于以下两方面。

①   离子体表面处理：

  为了提高刀具、模具等的性能，可以用等离子体对金属表面进行氮、碳、硼或碳氮的渗透。这种方法的特点是,不是在表面加一覆盖层，【真空等离子清洗机】而是改变基体表面的材料结构及其性能。

  处理过程中，工件温度比较低，不使工件变形，这对精密的部件很重要。这一方法可以应用于各种金属基体，主要有辉光放电渗氮，氮碳共渗，渗硼。

  ②等离子体在电子工业中的应用：

  大规模集成电路片心的生产工艺，过去采用化学方式，现在采用等离子体方法代替之后，不仅降低了工艺过程中的温度，还因将涂胶、显影、刻蚀、除胶等化学湿法改为等离子体干法，使工艺更简单，便于实现自动化，提高成品率。【常压等离子设备】

等离子体方法加工的片心分辨率及保真度都高，对提高集成度及可靠性均有利。

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