晶圆等离子清洗机半导体材料表面清洗设备

真空等离子清洗机的作用，用于产品表面的活化，增强附着力，清洗清洁产品表面的有机污染物，简单来说，主要适用于提高胶水粘结强度、提高印刷喷码牢固度和提高焊接良品率；从行业上来说，适用于生物医疗行业、印刷喷码行业，半导体IC领域，汽车电子行业，航空工业等等。

等离子清洗机是利用等离子体辉光，对产品表面进行活化作用，将附着在物体表面的污垢彻底剥离去除，从而利于后续的印刷喷码焊接粘结等工艺。

等离子体清洗机作为一种新型的材料表面改性方法，以其低能耗、低污染、处理时间短、效果显著等优点受到人们的关注。等离子清洗机在许多改性方法中，低温等离子清洗机是近年来发展迅速的一种干式的清洗方法。与其他方法相比，等离子清洗机具有许多优点。等离子体表面处理设备根据不同的工艺，主要包括污染物去除、氧化层减少、表面性能活化等，提高了材料表面的打线、粘接、印刷、涂装等工艺能力，有利于下一道工序的加工。

硅片等离子清洗机、硅片清洗机、半导体晶片等离子清洗机避免使用三氯乙烷等ODS有害溶剂，清洗后不会产生有害污染物。因此，等离子清洗机属于环保型绿色清洗方法。等离子体清洗机在晶圆方面的作用；清理清洁、改性、光刻胶灰化。